Focus sur une technique : la microscopie électronique à balayage à double faisceau (FIB)

Le MEB-FIB (Crossbeam) de la plateforme MACLE-CVL est un microscope électronique à balayage haute résolution couplé à une colonne ionique et à un système d’ablation laser, pouvant opérer sous vide poussé ou à pression contrôlée. Il est équipé en outre d’un système couplé de micro-analyse EDS/EBSD. En associant un laser, un faisceau ionique focalisé et un système d’injection de gaz (Pt, C), cet instrument assure la préparation avancée de lames TEM, la nano-tomographie 3D, l’analyse structurale et compositionnelle 3D, et la nano-fabrication. Avec la participation de Sébastien Jego, minéralogiste au BRGM et responsable de l'instrument pour la plateforme MACLE-CVL, une série de « Focus sur une technique » de l'ARD MATEX mettant en valeur les instruments du parc instrumental visible sur le site : www.ard-matex.fr