Optiken für die Chipherstellung

Die Firma ZEISS schenkte dem Arithmeum ein Objekt der weltweit führenden Schlüsseltechnologie für die Chipherstellung: einen EUV-Spiegel. Nur ZEISS kann ein solches Präzisionsobjekt herstellen. Das Arithmeum ist das zweite öffentliche Museum in Deutschland, das dieses hochpräzise Optikelement zeigt. Dr. Thomas Stammler, CTO ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT), stellte den Spiegel einen Tag nach der Übergabe am Dies Academicus 2023 vor. Ansprechpartnerin: Prof. Dr. Ina Prinz, Direktorin Arithmeum. Rechnen einst und heute. E-Mail: [email protected] Team: Denis Nasser / Universität Bonn 2023